材质
耐温度
特性
Cassette 应用
PFA Cassette
铁氟龙卡匣
200~220℃
耐 強酸 強氟酸 強碱
酸碱制程中使用
PP Cassette
40~60℃
重量轻，
可焊接，缺点易变形。
一般传输制程
PEEK Cassette
120℃
硬度高、耐磨，
不易变形。
PC Cassette
80~100℃
尺寸安定性佳、耐候性佳、不易应力变形。
PEI Cassette
130~150℃
耐磨、抗静电性。

PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙晶圆盒 为 为承载半导体晶圆片/硅片的容器，可依照客户需求设计，全氟烷氧基材質有优良的化学稳定性，耐高温200~220℃、耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱)，主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。
进入化学酸、碱蚀刻制程中，铁氟龙卡匣需要靠手把夹持，可搭配铁氟龙手把使用